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書誌情報サマリ

書名

はじめての薄膜作製技術 

著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 森北出版
出版年月 2012.11


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0106239445549.8/クサ/貸閲複可在庫 2階一般

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2012
2012
549.8 549.8
薄膜

書誌詳細

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タイトルコード 1009951101075
書誌種別 和図書(一般)
著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 森北出版
出版年月 2012.11
ページ数 7,160p
大きさ 22cm
ISBN 4-627-77452-0
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 はじめての薄膜作製技術 
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
内容紹介 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。

(他の紹介)内容紹介 薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。
(他の紹介)目次 第1章 薄膜とは
第2章 薄膜作製技術の基礎
第3章 真空蒸着法
第4章 スパッタリング法
第5章 化学気相成長法
第6章 薄膜の評価技術
第7章 薄膜作製技術の応用
(他の紹介)著者紹介 草野 英二
 1983年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。1995年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。2001年金沢工業大学工学部教授。2008年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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