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書誌情報サマリ

書名

プラズマ半導体プロセス工学 

著者名 市川 幸美/共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0104438338549.8/プラ/貸閲複可在庫 書庫3

関連資料

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2003
549.8 549.8
半導体 プラズマ物理学

書誌詳細

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タイトルコード 1009950150490
書誌種別 和図書(一般)
著者名 市川 幸美/共著   佐々木 敏明/共著   堤井 信力/共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ ササキ トシアキ テイイ シンリキ
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7
ページ数 289p
大きさ 22cm
ISBN 4-7536-5048-0
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 プラズマ半導体プロセス工学 
書名ヨミ プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク
副書名 成膜とエッチング入門
副書名ヨミ セイマク ト エッチング ニュウモン
内容紹介 プラズマプロセスの基礎を学ぼうとする大学生や大学院生、あるいは企業や研究機関において半導体プロセスに携わる開発者や研究者を対象に、プラズマCVDとエッチング技術の基礎を整理、解説する。

(他の紹介)内容紹介 “勝ち目のない戦い”を捨て、“致命的な失敗”を避け、最後に勝つ。
(他の紹介)目次 序章 シミュレーションの成否を左右する「システム分析」
第1章 「戦争の技術」として生まれたシミュレーション
第2章 シミュレーションには「仮説」が欠かせない
第3章 システムの「全体像」をつかむために
第4章 「コンピューターのお告げ」に騙されてはいけない
第5章 「日本」の未来をつくる戦略
巻末付録 システム分析の活用例
(他の紹介)著者紹介 川島 博之
 東京大学大学院農学生命科学研究科准教授。1953年生まれ。1983年東京大学大学院工学系研究科博士課程単位取得のうえ退学(工学博士)。東京大学生産技術研究所助手、農林水産省農業環境技術研究所主任研究官、ロンドン大学客員研究員などを経て、現職(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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