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書誌情報サマリ

書名

レジスト材料 (高分子先端材料One Point)

著者名 伊藤 洋/著
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年月 2005.2


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0105005581549.7/イト/貸閲複可在庫 書庫3

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2005
549.7 549.7

書誌詳細

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タイトルコード 1009950295856
書誌種別 和図書(一般)
著者名 伊藤 洋/著
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年月 2005.2
ページ数 4,104p
大きさ 19cm
ISBN 4-320-04372-3
分類記号 549.7
分類記号 549.7
書名 レジスト材料 (高分子先端材料One Point)
書名ヨミ レジスト ザイリョウ
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
著者紹介 東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。
叢書名 高分子先端材料One Point

(他の紹介)目次 第1章 リソグラフィ技術による微細加工とレジスト(レジストとは何か?
レジストの分類
レジストに要求される性能と特性評価法)
第2章 レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史(架橋ネガ型レジスト
ポジ型フォトレジスト ほか)
第3章 化学増幅レジスト(酸触媒反応―増幅の化学
酸発生剤 ほか)
第4章 現状と将来
第5章 おわりに


目次


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