蔵書情報
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書誌情報サマリ
| 書名 |
MEMSのはなし (Science and technology)
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| 著者名 |
前田 龍太郎／編著
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| 著者名ヨミ |
マエダ リュウタロウ |
| 出版者 |
日刊工業新聞社
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| 出版年月 |
2005.1 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
資料番号 |
請求記号 |
帯出区分 |
状態 |
配架場所 |
貸出
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| 1 |
0105004790 | 530/ﾏｴ/ | 貸閲複可 | 在庫 | 書庫３ |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1009950292105 |
| 書誌種別 |
和図書（一般） |
| 著者名 |
前田 龍太郎／編著
池原 毅／著
小林 健／著
単 学伝／著
|
| 著者名ヨミ |
マエダ リュウタロウ イケハラ ツヨシ コバヤシ タケシ タン ガクデン |
| 出版者 |
日刊工業新聞社
|
| 出版年月 |
2005.1 |
| ページ数 |
6,126p |
| 大きさ |
19cm |
| ISBN |
4-526-05404-6 |
| 分類記号 |
530
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| 分類記号 |
530
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| 書名 |
MEMSのはなし (Science and technology) |
| 書名ヨミ |
メムス ノ ハナシ |
| 内容紹介 |
電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。 |
| 著者紹介 |
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。 |
| 叢書名 |
Science and technology
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| (他の紹介)内容紹介 |
ＭＥＭＳとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、ＭＥＭＳの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。ＭＥＭＳ技術に興味を持つ方、特に他分野からＭＥＭＳ技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。 |
| (他の紹介)目次 |
１章 身近で活躍するＭＥＭＳ
２章 ＭＥＭＳの製造方法
３章 ＭＥＭＳのパッケージング
４章 ＭＥＭＳ製造のキーポイント
５章 ＭＥＭＳにおける微細成形技術
６章 ＭＥＭＳセンサ
７章 ＭＥＭＳアクチュエータ
８章 ＭＥＭＳ設計・シミュレーションの実際
９章 フォトマスクの書き方 |
| (他の紹介)著者紹介 |
前田 龍太郎
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
池原 毅
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ研究員。理学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
小林 健
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ研究員。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
単 学伝
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ客員研究員。工学博士。Ｓｉｎｇａｐｏｒｅ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＳＩＭＴｅｃｈ）研究員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
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