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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜化技術 

著者名 和佐 清孝/著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ
出版者 共立出版
出版年月 2002.6


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0104786983549.8/ワサ/貸閲複可在庫 書庫3

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2002
549.8 549.8
薄膜

書誌詳細

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タイトルコード 1009950038765
書誌種別 和図書(一般)
著者名 和佐 清孝/著   早川 茂/著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ ハヤカワ シゲル
出版者 共立出版
出版年月 2002.6
ページ数 316p
大きさ 22cm
ISBN 4-320-08613-9
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 薄膜化技術 
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ
内容紹介 原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
著者紹介 横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。

(他の紹介)内容紹介 薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。
(他の紹介)目次 第1部 薄膜とその応用(薄膜材料
薄膜の形成法と評価
スパッタプロセスにおける興味ある現象)
第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎
スパッタ装置と動作特性
化合物薄膜とスパッタ蒸着
薄膜構造の精密制御とナノメータ材料)


目次


内容細目

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