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書誌情報サマリ

書名

「半導体立国」日本 

著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.11


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0102410974549.8/ハン/貸閲複可在庫 書庫3

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書誌詳細

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タイトルコード 1009310014295
書誌種別 和図書(一般)
著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.11
ページ数 403p
大きさ 20cm
ISBN 4-526-03042-2
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 「半導体立国」日本 
書名ヨミ ハンドウタイ リッコク ニホン
副書名 独創的な装置が築きあげた記録
副書名ヨミ ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク

(他の紹介)内容紹介 半導体・日本がいかにして成立したか、そのルーツと発展の経緯、苦闘の歩みを明らかにする。
(他の紹介)目次 第1章 半導体産業、夜明けの時代
第2章 IC、LSIの時代
第3章 超LSIの時代
第4章 光学王国・日本の真価 露光装置
第5章 自動化の推進役 エッチング・レジスト処理・洗浄装置
第6章 前工程の代表装置 酸化・ドーピング装置
第7章 超LSI化で重要度増す 膜形成装置
第8章 半導体日本の立役者 組立用装置
第9章 一気に世界のトップへ 検査用装置
第10章 1ギガビット以降を展望する


目次


内容細目

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