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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜 

著者名 金原 粲/[ほか]編集
著者名ヨミ キンバラ アキラ
出版者 日本規格協会
出版年月 1991.4


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No. 資料番号 請求記号 帯出区分 状態 配架場所 貸出
1 0100046440549.8/ハク/貸閲複可在庫 書庫3

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1991
549.8 549.8
薄膜

書誌詳細

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タイトルコード 1009210142241
書誌種別 和図書(一般)
著者名 金原 粲/[ほか]編集
著者名ヨミ キンバラ アキラ
出版者 日本規格協会
出版年月 1991.4
ページ数 273p
大きさ 21cm
ISBN 4-542-30124-9
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 薄膜 
書名ヨミ ハクマク
副書名 その機能と応用
副書名ヨミ ソノ キノウ ト オウヨウ
内容紹介 1.概論 2.薄膜化の基本技術 3.薄膜の機能と設計 4.薄膜の試験法 5.薄膜技術と新材料

(他の紹介)目次 1 概論(薄膜とは
薄膜の特徴
用途
表面改質)
2 薄膜化の基本技術(薄膜形成のための各種の方法
物理気相成長法
化学気相成長法
液相エピタキシ法)
3 薄膜の機能と設計(エレクトロニクス
オプトエレクトロニクス
磁気・記録媒体
光学コーディング
トライボロジ)
4 薄膜の試験法(摩耗・硬さ
耐候・耐光・耐食性
耐熱・耐湿性
耐放射線性)
5 薄膜技術と新材料(酸化物超伝導体薄膜
ダイヤモンドとcBN薄膜
人工格子)


目次


内容細目

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